Метод измерения
сканер
глубина сканирования (ось Z)
скорость сканирования при полном разрешении
|
интерферометрия белого света
пьезоэлектрический привод с регулированием высоты
перемещения
до 400 мкм
11.3 мкм/сек
|
Тип сканирования
разрешение по высоте (ось Z)
|
вертикальная сканирующая интерферометрия
1 нм
|
расширенная фазовая интерферометрия
0.1 нм
|
Камера
макс. разрешение
макс. скорость записи
|
высокоскоростная камера USB 3
1920 x 1200 пикселей при 170 кадров/сек
до 3000 кадров/сек при ограниченном ROI
|
Объективы
увеличение
область измерения (X [мм] x Y [мм])
рабочее расстояние [мм]
расположение точек [мкм]
|
объективы Миро для интерферометров
|
2.5х
7.3х4.6
10.3
3.8
|
5х
3.7х2.3
9.3
1.9
|
10х
1.8х1.2
7.4
0.96
|
20х
0.91х0.58
4.7
0.48
|
50х
0.37х0.23
3.4
0.19
|
100х
0.18х0.12
2
0.1
|
Предметный столик
площадь перемещения (X [мм] x Y [мм])
разрешение перемещения
допускаемая нагрузка
|
ручной
73х55
-
1 кг
|
авто
75х50
10 нм
1 кг
|
авто
100х100
10 нм
2 кг
|
авто
150х150
10нм
3 кг
|
авто
200х200
10 нм
3 кг
|
авто
300х300
10 нм
5 кг
|
Штатив измерительной головки
быстрое регулирование по оси Z
тонкое регулирование по оси Z
регулирование наклона
|
ручное юстирование по оси Z
70мм
1.9мм
± 3°
|
Контроллер
рекомендуемые требования ПК
контроллеры аппаратного обеспечения
|
стандартная рама на 19”; 3 единицы высоты
Intel® Core™ I5, 16 GB RAM, 500 GB SSD, графическая карта
NVIDIA®, Microsoft® Windows™ 10 Pro
пьезоконтроллер, контроллер света LED, контроллер осей X и
Y
|
Программное обеспечение
|
сканирующее программное обеспечение SPS 25 & программное
обеспечение для расчётов
MountainsMap® Imaging Topography
|
Стандартные методики и параметры
параметры шероховатости, отнесённые к площади (ISO 25178)
параметры шероховатости по профилю (ISO 4287)
|
в соответствии с ISO 25178, ISO 4287, ISO 13565, ISO 16610,
etc.
Sq, Sp, Sv, Sz, Sa, S10z
Rq, Rp, Rv, Rz, Ra
|
Габариты
(L [мм] x W [мм] x H [мм])
Вес [кг]
|
измерительная головка и автоматический столик (75 x 50)
360 x 260 x 450
15.5
|
контроллер
500 x 515 x 210
20
|
Источник питания
|
230 VAC; 50 Hz; 150 W
|